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光電開(kāi)關(guān)的電荷耦合器件縮寫(xiě)為ccd，是一種大規(guī)模金屬氧化物半導(dǎo)體mos集成電路光電器件。它以電荷為信號(hào)，具有光電信號(hào)轉(zhuǎn)換、存儲(chǔ)器、轉(zhuǎn)移并輸出信號(hào)電荷的功能。Ccd自1970年問(wèn)世以來(lái)，由于其獨(dú)特的性能而發(fā)展迅速，廣泛應(yīng)用于航天、遙感、工業(yè)、農(nóng)業(yè)、天文及通訊等軍用及民用領(lǐng)域的信息存儲(chǔ)及信息處理等方面，尤其適用于以上領(lǐng)域中的圖像識(shí)別技術(shù)。光電開(kāi)關(guān)傳感器的固態(tài)圖像傳感器由光敏元件陳列和電荷轉(zhuǎn)移器件集合而成。它的核心是電荷轉(zhuǎn)移器件，最常用的是電荷耦合器ccd。 對(duì)于光電開(kāi)關(guān)電荷轉(zhuǎn)移器件是由若干個(gè)電荷耦合單元組成的。其基本單元是mos(金屬-氧化物-半導(dǎo)體)電容器，它以p型或n型半導(dǎo)體為襯底，上面覆蓋一層厚度約120nm的sio2，再在sio2表面依次沉積一層金屬電極而構(gòu)成mos電容轉(zhuǎn)移器件。這樣一個(gè)mos結(jié)構(gòu)稱(chēng)為一個(gè)光敏元或一個(gè)像素。將mos陳列加上輸入，輸出結(jié)構(gòu)就構(gòu)成了ccd器件。 |
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